ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

ТИП КОНСТРУКЦИИ
ВОЗДУХОДУВКИ НАГНЕТАТЕЛЬНОГО ДЕЙСТВИЯ

ОБЪЕМНЫЙ РАСХОД
406 до 15.570 м3/ч

СРЕДА
ВОЗДУХ , ИНЕРТНЫЕ ГАЗЫ , АГРЕССИВНЫЕ ГАЗЫ

ТРАНСПОРТИРОВКА
БЕЗМАСЛЯНЫЙ

FINAL VACUUM
МАКС. ДАВЛЕНИЕ 10^-5 мбар ИЗБ.

СВОЙСТВА

Герметичные воздуходувки AERZEN значительно уменьшают время откачки, что повышает производительность. Это большой шаг на пути к оптимизации процессов.

ИСПОЛНЕНИЕ И КОНСТРУКЦИЯ
Вакуумные воздуходувки AERZEN оснащены уплотнительными кольцами фланцев корпуса. Дополнительными важными преимуществами ступени воздуходувки являются герметичность и воздушное охлаждение. Смазочное масло подается разбрызгиванием. Для смазки может использоваться минеральное масло, а также перфторполиэфир (PFPE), который чаще всего применяется для полупроводниковой техники. Герметичные воздуходувки оснащаются специальным лабиринтным уплотнением с прямоугольным кольцом между нагнетательной камерой и камерой подшипников. Кроме того, воздуходувка оснащена большой нейтральной камерой с каналами для конденсата. Для усиления эффективности уплотнения нейтральную камеру можно продуть уплотнительным газом. Интегрированный герметичный двигатель обеспечивает уплотнение приводного вала. Поэтому канал вала для выпуска в атмосферу можно не использовать, что позволяет достигать значительно более высокой частоты вращения.

ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ

Воздуходувки AERZEN с герметичным приводом предназначены для перекачки инертных (версия HM) и агрессивных (версия CM) газов. Они широко используются в промышленной технике высокого вакуума. Герметичные воздуходувки всегда используются вместе с насосом предварительного разрежения*.
Этот насос предварительного разрежения начинает работать при атмосферном давлении. Герметичная воздуходувка обычно начинает откачку при давлении около 50–200 мбар. В зависимости от применения в качестве насоса предварительного разрежения могут использоваться жидкостные кольцевые насосы, ротационные вакуумные насосы, винтовые вакуумные насосы, воздуходувки. При оснащении преобразователем частоты AERZEN со специальными установленными параметрами возможна эксплуатация с запуском насоса предварительного разрежения при атмосферном давлении.

ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ
Полупроводниковая промышленность
Микроэлектроника
Производство плоских экранов
Лазерное оборудование
Оборудование для солнечной энергетики
Системы обнаружения утечек гелия
Химические технологии и технологии производства
Нанесение пленок и стекловидных покрытий
Производство плавильных печей
Извлечение водорода
*При использовании вакуумной воздуходувки AERZEN с герметичным приводом необходим дополнительный насос предварительного разрежения (многоступенчатая система).